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  公司是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设施供应商，主营业 务为干式真空泵和真空科学仪器设施的研发、生产、销售，及有关技术服务。公司产品主要 包括用于集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体产品制造的干式真空泵，以及面向国家重 大科技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。公司致力于引领真空技术、支撑科技创新、 促进产业发展，为国家战略新兴产业发展和重大科技创新体系建设提供支撑。 公司拥有真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心、国家 企业技术中心三个国家级研发平台，具备持续的创新研发能力。公司是集成电路领域出货量 最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，是 唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业，有效保障了我国集成电路制造设 备关键零部件的自主可控和供应链安全。真空科学仪器设备领域，公司先后承担北京正负电 子对撞机、兰州重离子加速器、合肥国家同步辐射装置、上海三代光源、北京高能同步辐射 光源、上海硬 X 射线 项国家重大科技基础设施的建设工作，是我国 大科学装置关键真空部件光束线、波荡器、前端区等的最主要研制单位，其中公司作为上海 光源主要参与单位，于 2013 年获得国家科技进步一等奖。另外，公司前身成功研制了第一 台国产分子束外延设备（MBE），打破国外长期禁运，在科研用 MBE 设备研制领域居于国内 领先地位。

  截至 2025 年 12 月 31 日，国科科仪持有公司 35.2%股份，为公司控股股东；国科控股 持有国科科仪 100%股权，其通过国科科仪控制公司 35.2%股份，为公司的实际控制人。

  公司是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商，主营业 务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务。公司产品主要 包括用于集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体产品制造的干式真空泵，以及面向国家重 大科技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。公司致力于引领真空技术、支撑科技创新、 促进产业发展，为国家战略新兴产业发展和重大科技创新体系建设提供支撑。公司销售的干 式真空泵主要为罗茨干泵。公司研制的罗茨干泵分为三大系列：L 系列主要面向半导体清洁 工艺流程，如装载、传输；M 系列主要面向半导体中等工艺流程，如刻蚀、离子注入等；H 系列主要面向半导体苛刻工艺流程，如薄膜沉积等，也可应用于光伏等泛半导体领域的工艺 流程，如管式 PECVD 等。公司研制的三大系列近四十款型号干式真空泵产品已实现大批量 应用，可适配 ASML、KLA、LAMResearch、AMAT、TEL、HITACHI 等 30 余家国内外主 流设备厂商的数百种机台，全面满足市场多样化需求。截至 4 月 10 日，公司在研的干式线 项。除罗茨干泵，公司成功自主研发螺杆干泵并实现向客户批量交付。此 外，公司销售少量涡旋干泵，涡旋干泵主要应用于科研领域。公司真空科学仪器设备主要面 向国家重大科技基础设施和前沿科学领域研究使用，包括用于薄膜制备的仪器设备（PVD、 CVD）和用于重大科技基础设施的高能物理真空装置。另外，公司为北京高能同步辐射光 源、上海同步辐射光源、上海硬 X 射线自由电子激光装置等大科学装置研制各类波荡器 90 余台套。

  营业收入持续高增，归母净利润实现跨越式增长。2023-2025 年，公司营收由 8.5 亿元 增长至 12.9 亿元，年化复合增长率达 23.2%。受益于半导体真空装备国产化替代加速及科 研仪器需求释放，公司营收持续保持双位数增长，2023-2025 年同比增速分别为 22.0%、 27.1%、19.3%，业务规模与市场份额稳步提升。公司业绩轨迹符合高端装备行业规律，经 历“研发投入期—扭亏—反弹”的成长周期。2025 年归母净利润反弹至 8.4 亿元，同比大增 337.8%，创历史新高，其中扣非净利润为 1 亿元，同比增长 17%，说明当期归母净利润高 增核心系公司持有的上市公司股票产生大额公允价值变动收益与投资收益，该部分非经常性 损益显著增厚了公司全年盈利水平。 公司非经常性损益占比偏高，最重要的包含政府补助、投资收益、公允价值变动损益等。 2023-2025 年，公司非经常性损益净额分别为 5.3 亿元、1.0 亿元和 7.4 亿元，占归母净利 润的 87.8%、54.4%和 87.8%。公司公允价值变动损益波动较大，主要原因是公司持有上市 公司拓荆科技、中科信息股份，2025 年公允价值变动收益为 7.5 亿元，同比增长 9207.2%。 截至 2025 年 12 月 31 日，公司持有拓荆科技 1.52%股份，持有中科信息 0.80%股份，分别 作为交易性金融资产和其他非流动金融资产核算。

  干式真空泵为公司核心收入来源，产品结构持续优化，核心技术产品收入占比稳居高位。 2023-2025 年，公司干式真空泵收入占比始终保持在 64%以上，2024 年占比达 72.4%，为 公司第一大核心业务，是营收增长的核心驱动力；真空科学仪器设施收入占比稳定在 16%-19% 区间，2025 年占比 18.5%，与干式真空泵形成业务协同；维修及维护等服务、零部件及其 他产品销售占比比较稳定，2023-2025 年分别为 5.6%、4.1%和 6.2%，公司业务持续向高附 加值的核心装备制造聚焦，产品结构持续优化。干式真空泵作为公司的核心硬件产品， 2023-2025 年毛利率从 31.6%持续下滑至 24.2%，三年累计下降超 7 个百分点。毛利率下滑 主要是由于市场整体竞争环境以及公司市场扩张战略综合影响所致。光伏领域订单萎缩， 2025 年收入近乎出清，前期低毛利订单拖累显著；集成电路领域国产替代加速，新进入者 加剧竞争，核心客户议价权提升，产品单价持续下行；单位成本受原材料、外协加工及工艺 研发投入影响上升；中低端型号占比提升拉低整体结构。公司在成本端，通过工艺改进、提 高自制率、扩大生产规模、加强供应链管控等方面，有望进一步降低产品生产成本，因此公 司集成电路领域真空泵产品毛利率持续下滑的风险较小。

  公司期间费用率持续优化，规模效应凸显，结构持续改善。2023-2025 年销售毛利率稳 定在 17%以上，销售净利率呈现高弹性增长，2025 年回升至 65.4%，盈利质量持续改善。 费用管控成效显著，期间费用率从 2023 年 21.1%降至 2025 年 19.1%，结构整体优化；研 发费用率维持 8%-10%的高位，在费用优化的同时保障技术迭代，为长期成长奠定坚实基础。 整体来看，公司期间费用率的持续下降，核心源于营收规模的高速增长带来的规模效应，叠 加精细化费用管控，盈利空间持续打开；同时，公司从始至终保持高强度研发投入，在费用率优 化的同时保障技术壁垒，实现“短期盈利改善”与“长期成长动能”的平衡，符合高端装备 制造企业的成长规律。

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