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专利摘要显现,本发明触及一种石英真空封装设备及办法,包含壳体,包含多组并排设置的工位腔室;真空产生体系,包含机械泵、高真空分子泵和阀组管路;阀组管路包含针对每一工位腔室独立设置的预抽管路,每一预抽管路上并联设置有慢抽支路和快抽支路;作业处理模块,包含多个工位,每一工位均设有设备腔体、旋转主轴、手动旋转组织和抱轴密封件,设备腔体内设有主轴通孔;旋转主轴夹持衔接于石英管,且旋转主轴贯穿所述主轴通孔;手动旋转组织固定衔接于所述旋转主轴外侧端部,抱轴密封件固定设于主轴通孔处。经过选用这种结构,使得抽真空进程能陡峭地树立压差,减少了对管路的气流冲击和轰动,有用维护了真空泵与阀门,且各个工位可独立作业,互不搅扰。
天眼查资料显现,湖南艾科威半导体配备有限公司,成立于2015年,坐落长沙市,是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本960万人民币。经过天眼查大数据分析,湖南艾科威半导体配备有限公司共对外出资了2家企业,参加招投标项目66次,产业线条。
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