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金融界2024年12月23日音讯,国家知识产权局信息数据显现,眉山琏升光伏科技有限公司获得一项名为“一种用于磁控溅射靶材替换的作业舱”的专利,授权公告号 CN 222182422 U,请求日期为2024年4月。
专利摘要显现,本实用新型公开了一种用于磁控溅射靶材替换的作业舱,包含舱体主体,舱体主体为上开口结构,舱体主体内设有镂空地板,镂空地板将舱体主体内分为上方的作业空间和下方的负压空间,镂空地板上设有坐落作业空间内的作业台,舱体主体上设有连通外界与负压空间的风机过滤机组舱体主体上设有连通外界与作业空间的舱门。本实用新型的有利作用:经过型材结合通明挡板阻隔作业台与外界,经过风机过滤机组、镂空地板将粉尘从渠道下方抽走,防止粉尘传达,确保车间洁净度、良率、返工率不被影响的一起,减少了人员吸入ITO粉尘的危险。