8英寸原子层堆积体系1套：反响腔应选用单腔体规划，最大兼容样品尺度 8英寸；选用线CFM；单源脉冲时刻可准确操控到0.01s或更优； 4英寸原子层堆积体系1套：反响腔应选用单腔体规划，最大兼容样品尺度 4英寸；装备臭氧发生器，臭氧生成才能不小于110ng/ml；选用线CFM；单源脉冲时刻可准确操控到0.01s或更优。

  预算金额：人民币300万元 最高限价：人民币294万元 合同实行期限：2024年9月30日前完结交给

  3.本项意图特定资历要求：1）招标人应为契合《中华人民共和国招标招标法》规则的独立法人或其他安排；2）招标人应为招标产品的制造商或其合法署理商，署理商招标应供给招标产品的制造商针对本项意图正式授权； 3）招标人须在招标截止期之前在国家商务部认可的机电产品招标招标电子生意生意渠道（以下简称机电产品生意生意渠道，网址为：）上完结有用注册；4）本项目不允许联合体招标；5）本项目不接受分包或转包。

  方法：经过复旦大学收购与招标处理体系（以下简称电子收购渠道，网址为：）点击“校外用户登录”在线获取招标文件，逾期不再处理。

  有爱好的潜在招标人应于2024年2月28日起至2024年3月6日北京时刻16:30，经过复旦大学收购与招标处理体系（以下简称电子收购渠道，网址为：）点击 校外用户登录 在线获取招标文件，逾期不再处理。潜在招标人可进入电子收购渠道后在 正在进行的项目 版块中检查项目进入在线获取招标文件流程并下载电子招标文件，电子招标文件价格￥0.0元。未按规则合法获取招标文件的潜在招标人将不得参与招标。获取招标文件需上传的材料（加盖公章后的扫描件）：

  2）招标人为法人的，供给法定代表人授权书（其他安排需供给投资人/负责人授权书）；

  1、招标人应在招标截止时刻之前，按复旦大学收购与招标处理体系的操作过程对其招标文件进行加密后递送（上传）至电子收购渠道。

  2、开标程序在复旦大学收购与招标处理体系上进行，一切招标人应登录到体系内参与开标，并在规则时刻内进行招标文件解密。

  1、招标人在招标前应在____（）或机电产品招标招标电子生意渠道（）完结注册及信息核验。评标成果将在____和中国国际招标网公示。

  2、本项目选用电子招标方法，并在电子收购渠道（复旦大学收购与招标处理体系，网址为：）操作，进入渠道后，招标人可在体系告诉栏目下载供货商招标操作手册。电子收购渠道技术咨询电线、招标人和署理组织不承当招标人预备招标文件和递送招标文件过程中发生的费用。

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